既にASMLの技術は限界に達しており、歩留まり率も、装置価格も量産化の限界に達している。
日本企業は、その先を見据えている。
X線集光 複合屈折レンズ (CRL)
X線の屈折率は1よりも小さいため，可視光用レンズとは逆の両凹型の形状をもつレンズとなります。一つ一つのレンズ素子による屈折角は非常に小さく焦点距離は長いものの，最多で数百もの素子を並べることにより，数十mm～といった短焦点距離も実現できます。
 多段式｢複合屈折レンズ｣の集光コンセプト |  2次元集光型の｢複合屈折レンズ｣ |
EUV 노광의 물리적 한계
이미 ASML의 기술은 한계에 이르고 있어 제품 비율율도, 장치 가격도 양산화의 한계에 이르고 있다.
일본 기업은, 그 처를 확인하고 있다.
X선집광복합 굴절 렌즈 (CRL)
X선의 굴절률은 1보다 작기 때문에, 가시광선용 렌즈와는 반대의 양요형의 형상을 가지는 렌즈가 됩니다.하나 하나의 렌즈 소자에 의한 굴절각은 매우 작게 촛점거리는 길기는 하지만, 최다로 수백의 소자를 늘어놓는 것으로, 수십 mm라고 하는 단촛점거리도 실현될 수 있습니다.
다단식「복합 굴절 렌즈」의 집광컨셉 | 2 차원집광형의「복합 굴절 렌즈」 |